Vakyòm kouch machin vakyòm Kouch machin Vakyòm Vakyòm Kouch ekipman pwosesis netwayaj

Materyèl la vakyòm yo ta dwe netwaye anvan pwosesis la vakyòm nan machin nan kouch vakyòm yo retire polyan soti nan sifas la nan materyo a oswa materyèl sistèm; netwayaj la sifas nan pati yo nan machin nan kouch lanp tou nesesè, paske sous gaz la ak vapè ki te koze pa polyan yo pa sèlman Li pral fè sistèm nan vakyòm pa kapab jwenn degre vakyòm obligatwa a. Anplis, akòz prezans nan kontaminan, li pral tou afekte fòs la ak sele pèfòmans nan koneksyon an vakyòm eleman.

Polyan kouch machin ka defini kòm "nenpòt kalite sibstans initil oswa enèji", milti-arcion machin kouch ka divize an solid, gaz ak likid dapre eta a fizik nan polyan, yo egziste nan fòm lan nan fim oswa granulaire. An tèm de karakteristik chimik li yo, li ka nan yon eta iyonik oswa covalent, epi yo ka inòganik oswa òganik.

Sifas la nan kowat la vakyòm ki ekspoze a lè a se pi sansib a kontaminasyon. Gen anpil sous kontaminasyon. Kontaminasyon inisyal la se nòmalman yon pati nan pwosesis la fòmasyon nan sifas la tèt li. Fenomèn adsorpsyon, reyaksyon chimik, lese chimik, pwosesis siye, tretman mekanik, ak difizyon ak pwosesis segregasyon tout kontribye nan ogmante kontaminasyon sifas nan eleman divès kalite. Kalite ki pi komen nan kontaminan sou sifas la nan materyèl vakyòm yo jan sa a.

(1)Grès: grès machin, likid koupe, grès vakyòm, elatriye, ki kontamine pandan pwosesis, asanble, ak operasyon;

(2) Baze sou dlo : swe pandan operasyon an, vapè dlo pandan soufle, krache, elatriye;

(3)Sifas oksid: oksid sifas ki te fòme pa materyèl la ke yo te mete nan lè a oswa mete yo nan lè imid pou yon tan long;

(4)Asid, alkalika ak sibstans sèl: sibstans rezidyèl pandan netwayaj, men swe, mineral nan dlo, elatriye;

(5)Polising résidus ak pousyè ak lòt matyè òganik nan lè a anbyen.

Dapre kondisyon yo, sifas la netwaye nan machin nan kouch vakyòm ka divize an de kategori: sifas atomik pwòp ak pwosesis sifas pwòp.

Travay netwayaj la an plas nan etap nan byen bonè nan machin nan kouch vakyòm ka diminye yon anpil nan pwoblèm, evite ensidan an nan anpil ti pwoblèm nan kontwòl la sputtering machin kouch kouch, epi yo gen yon efè trè pozitif sou efikasite nan travay ak bon jan kalite a kouch nan machin nan kouch vakyòm. Li ka anpil amelyore estabilite nan k ap travay nan tout mi veso yo ak lòt sifas eleman nan sistèm nan vakyòm anba divès kalite kondisyon k ap travay. Kondisyon opere sa yo enkli: tanperati ki wo, tanperati ki ba, ak emisyon an ak bonbadman nan elektwonik, ions, foton oswa patikil lou.